BSLtech կիսահաղորդչային լուծում
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ ձեր փորձի զարգացումը հաճախ պահանջում է մաքուր սենյակներ կամ շերտավոր հոսքի պահարաններ բարձր ISO դասի (ISO 5 կամ ավելի բարձր): Դուք գործ ունեք ուլտրամանուշակագույն ճառագայթման նկատմամբ զգայուն գործընթացների հետ: Նույնիսկ այն ժամանակ BSL-ն ապահովում է ճիշտ մաքրման սենյակ: Մաքուր սենյակներն ունեն պատերի բարձրորակ հարդարում և լուսավորություն ուլտրամանուշակագույն ֆիլտրով: Ֆիլտրի համակարգի վրա հակաստատիկ (ESD) նյութերի և հակաստատիկ ձողերի օգտագործմամբ օդի ստատիկ լիցքը չեզոքանում է:
Երբ գազազերծումը ցանկալի չէ, BSL-ն առաջարկում է չգազազերծող նյութերից (PU) մաքուր սենյակ: Այս տեխնոլոգիան սկիզբ է առնում օդատիեզերական արդյունաբերությունից:
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության բնորոշ գործընթացները.
● Ենթաշերտերի և սիլիկոնային վաֆլիների պաշտպանություն
● EUV Research
● Դիմակի հարթեցնող սարքեր
● Վակուումային ծածկույթ, բարակ թաղանթի նստվածք
● Տպագրական հավելվածներ
● Օպտիկա
Front-end և back-end գործընթացներ