Հարաբերական խոնավության նպատակային արժեքը կիսահաղորդչային (FAB) մաքուր սենյակում

Հարաբերական խոնավության նպատակային արժեքը կիսահաղորդչային (FAB) մաքուր սենյակում մոտավորապես 30-ից 50% է, ինչը թույլ է տալիս ±1% սխալի նեղ սահմանագիծ, ինչպես օրինակ լիտոգրաֆիայի գոտում կամ նույնիսկ ավելի քիչ հեռավոր ուլտրամանուշակագույն մշակման (DUV) դեպքում: գոտի – մինչդեռ այլուր այն կարող է հանգստանալ մինչև ±5%:
Քանի որ հարաբերական խոնավությունն ունի մի շարք գործոններ, որոնք կարող են նվազեցնել մաքուր սենյակների ընդհանուր աշխատանքը, ներառյալ.
1. Բակտերիաների աճ;
2. Սենյակի ջերմաստիճանի հարմարավետության միջակայքը անձնակազմի համար;
3. Էլեկտրոստատիկ լիցք է հայտնվում;
4. Մետաղների կոռոզիա;
5. Ջրի գոլորշիների խտացում;
6. Վիմագրության դեգրադացիա;
7. Ջրի կլանումը.

Բակտերիաները և այլ կենսաբանական աղտոտիչները (բորբոսներ, վիրուսներ, սնկեր, տիզ) կարող են զարգանալ 60%-ից ավելի հարաբերական խոնավությամբ միջավայրերում:Որոշ բակտերիաների համայնքներ կարող են աճել ավելի քան 30% հարաբերական խոնավության պայմաններում:Ընկերությունը կարծում է, որ խոնավությունը պետք է վերահսկվի 40%-ից 60%-ի սահմաններում, ինչը կարող է նվազագույնի հասցնել բակտերիաների և շնչառական վարակների ազդեցությունը:

Հարաբերական խոնավությունը 40% -ից 60% միջակայքում նույնպես չափավոր միջակայք է մարդու հարմարավետության համար:Չափից շատ խոնավությունը կարող է մարդկանց ստիպել խեղդված զգալ, մինչդեռ 30%-ից ցածր խոնավությունը կարող է մարդկանց չոր, ճաքճքված մաշկ, շնչառական անհանգստություն և զգացմունքային դժբախտություն առաջացնել:

Բարձր խոնավությունը իրականում նվազեցնում է էլեկտրաստատիկ լիցքերի կուտակումը մաքուր սենյակի մակերեսի վրա՝ ցանկալի արդյունք:Ցածր խոնավությունը իդեալական է լիցքի կուտակման և էլեկտրաստատիկ լիցքաթափման պոտենցիալ վնասակար աղբյուրի համար:Երբ հարաբերական խոնավությունը գերազանցում է 50%-ը, էլեկտրաստատիկ լիցքերը սկսում են արագորեն ցրվել, բայց երբ հարաբերական խոնավությունը 30%-ից պակաս է, դրանք կարող են երկար ժամանակ մնալ մեկուսիչի կամ չհիմնավորված մակերեսի վրա:

Հարաբերական խոնավությունը 35%-ից 40%-ի միջև կարող է օգտագործվել որպես բավարար փոխզիջում, իսկ կիսահաղորդչային մաքուր սենյակներում սովորաբար օգտագործվում են լրացուցիչ հսկիչներ՝ էլեկտրաստատիկ լիցքերի կուտակումը սահմանափակելու համար:

Շատ քիմիական ռեակցիաների արագությունը, ներառյալ կոռոզիոն գործընթացները, կմեծանա հարաբերական խոնավության բարձրացման հետ:Մաքուր սենյակի շուրջ օդի ազդեցության տակ գտնվող բոլոր մակերեսները արագ են: